手套箱

手套箱簡介

手套箱是將高純惰性氣體充入箱體內(nèi)，并循環(huán)過濾掉其中的活性物質(zhì)的實(shí)驗(yàn)室設(shè)備。也稱真空手套箱、惰性氣體保護(hù)箱等。主要功能在于對(duì)O2，H2O，有機(jī)氣體的清除。

廣泛應(yīng)用于無水、無氧、無塵的超純環(huán)境，如：鋰離子電池及材料、半導(dǎo)體、超級(jí)電容、特種燈、激光焊接、釬焊、材料合成、OLED、MOCVD等。也包括生物方面應(yīng)用，如細(xì)胞低氧培養(yǎng)等。

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手套箱功能

1、密閉循環(huán)：真空手套箱和氣體凈化系統(tǒng)構(gòu)成一個(gè)密閉的循環(huán)系統(tǒng)，由氣體凈化系統(tǒng)提供氣體循環(huán)動(dòng)力。

2、人機(jī)對(duì)話：配置彩色觸摸屏，中文界面，實(shí)現(xiàn)人機(jī)對(duì)話，操作便捷

3、自動(dòng)控制（由彩色觸摸屏的人機(jī)界面和PLC程序控制系統(tǒng)集成對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行控制）

實(shí)現(xiàn)功能：手/自動(dòng)控制箱體壓力；

手/自動(dòng)控制氣體凈化系統(tǒng)的凈化狀態(tài)；

自動(dòng)控制氣體凈化系統(tǒng)的還原過程；

手/自動(dòng)凈化系統(tǒng)還原、凈化及轉(zhuǎn)換凈化柱（配置雙凈化柱時(shí)）；

自動(dòng)箱體氣氛?qǐng)?bào)警；

箱體內(nèi)氣氛和壓力參數(shù)設(shè)置和手/自動(dòng)轉(zhuǎn)換；

氣體凈化系統(tǒng)自動(dòng)控制功能的參數(shù)設(shè)置；

查閱系統(tǒng)歷史紀(jì)錄；

氣體凈化系統(tǒng)執(zhí)行機(jī)構(gòu)工況檢測；

程序控制系統(tǒng)的操作錯(cuò)誤和警告提示

真空熱蒸發(fā)鍍膜工藝

OLED器 件需要在高真空腔室中蒸鍍多層有機(jī)薄膜和金屬電極，薄膜的質(zhì)量關(guān)系到器件質(zhì)量和壽命。在有機(jī)真空腔室中設(shè)有多個(gè)放置有機(jī)材料的蒸發(fā)舟，加熱蒸發(fā)舟蒸鍍有機(jī) 材料；如果手套有破損或漏氣現(xiàn)象請(qǐng)及時(shí)更換，如果手套或手套孔有松動(dòng)或安裝不牢固，請(qǐng)重新安裝牢固。在金屬真空腔室中設(shè)有多個(gè)放置金屬電極的蒸發(fā)舟，金屬蒸發(fā)舟常采用鉬、鉭和鎢等材料制作，電極材料有Mg/Ag、Mg:Ag/Ag、Li/Al、 LiF /Al等，通常是使用低功函數(shù)的活潑金屬。ITO玻璃基板放置在可加熱的旋轉(zhuǎn)樣品托架上，其下面放置的金屬掩膜板控制蒸鍍圖案，并利用石英晶體振蕩器來控 制膜厚。

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